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LEGENDSシリーズ

2010年1月から弊社LEGENDS Lineの一翼を担うMRC社Eclipseシリーズ、スパッター装置の販売、サービスを開始しました。

また2011年4月からTegal社エッチャー、スパッター装置販売、サービスを開始致しました。更に2011年7月よりSEMITOOL社バッチ・クリーニング・プロセス装置販売、サービスが加わりました。これらの幅広い装置群は相乗効果によりこれまで以上のサポートを実現致します。

LEGENDSシリーズについて

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