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サポート

半導体製造装置メーカーによるOEM Groupのサポート体制

ライセンス契約によりバリアン社からは、米国本社及び日本に対し、全面サポートが得られます。
OEM Group Japan合同会社は日本で唯一のバリアン社認定サービス会社です。
メーカーから供給された製造図面、仕様書、技術資料等を基に各種アップグレード部品の製造販売を行っております。

新製品群のサポート体制

Semitool Manual-Batch Process装置(SST/SAT/SOT)及び他プロセス装置(PVD,Etch,CVD)の製造拠点をオーストリア(ヨーロッパ)、アリゾナ及びペンシルベニア(米国)工場に配置しております。
これら装置のサポート体制は、地域顧客に密接したグローバルサポート体制を基本として、部品、技術サービスを広範囲に供給しております。
日本国内に於いても、サポート体制の充実、拡大を展開中です。

サポートサービス内容

  • 半導体製造装置の部品供給(新品及びJR品)
  • 半導体製造装置のオーバーホール
  • 半導体製造装置のUpgrade/Modification
  • 半導体製造装置の移設・立上げ
  • 半導体製造装置の引取修理
  • 半導体製造装置のリファービッシュメント/装置売買

カスタマーサービスセンター(CSC)

部品在庫、お見積もり、技術者派遣、その他のお問い合わせは、お問い合わせページよりお申し付けください。

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