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showcase-p5000 First time in Japan. Cintillio™ manual batch process equipment. From left: Spray Solvent Tool (SST), SST Dual Chamber, Spray Ozone Tool (SOT) and Spray Acid Tool (SAT). The production-proven AG Heatpulse 8800 and 8108 are part of our LEGENDS family of systems. OEM Group Japan offers original Varian E-Series technology, parts, upgrades and software, which reduces the risk of non-conformities, delays and downtime.

実績あるテクノロジーを新しい世界へ

OEMグループは最高の技術を用い、集約された供給元から従来の半導体デバイスメーカーと革新的技術分野の両方に貢献しています。また75mm – 200mm設備のエキスパートとしてLED, MEMS, 電子エレクトロニクス分野、化合物半導体、WLP、ロジック、メモリ技術で活躍しています。

完全なる統合ソリューション、ワールドクラスサービス、アプリケーション開発、これら全てを提供する効率的イノベーターが我々です。

我々の実証されたLEGEND装置のテクノロジーポートフォリオは先導的半導体ブランドであるティーガル (薄膜エッチ), スパッタフィルムエンデバー™ (PVD), AMS (PVD), MRC Eclipse™ (PVD), AG ヒートパルス® (RTP), バリアンサンセット™ (イオン注入) and ラムリサーチオートエッチ™より得た独占的知的財産に基づいています。Legendの中には化学プロセステクノロジーグループの一環としてシンチリオと名付けられたブランドを提供しています- SOT、SST、SATの表面を加工、準備する為のシステムですが2011年アプライドマテリアルズ/セミツールの製品ラインを買収した結果得る事ができたスピンリンスドライヤー(SRD)、STORM™、Sirius™ ツールもこの中に含まれます。 

業界で最も成功を収め普及しているシングルウエハー、マルチチャンバCVD、エッチプロセスのプラットフォームを誇るP5000が2012年に締結したアプライドマテリアルズとのグローバルライセンスにより、LEGENDシリーズに加えられる事となりました。

業界ニュース

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LEGENDSシリーズ

MRC_Eclipse

2010年1月から弊社LEGENDS Lineの一翼を担うMRC社Eclipseシリーズ、スパッター装置の販売、サービスを開始しました。
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アップデート

OEMグループは日本における拡大拠点のグランドオープニングセレモニーを執り行いました。
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